Les procédés de fabrication dans l’industrie des semi-conducteurs exigent de l’eau ultrapure à presque toutes les phases. Le traitement de l’eau d’admission à des niveaux de haute qualité exige des procédés et des technologies de traitement de l’eau pour éliminer les contaminants, les minéraux, les microorganismes et les produits chimiques organiques et non organiques. Le simple fait de répondre aux exigences actuelles en matière de qualité de l’eau n’est pas suffisant et Xylem comprend que le prochain cycle technologique exigera des spécifications encore plus rigoureuses qui augmentent le coût de chaque puce produite. Notre vaste portefeuille de technologies peut traiter les trois étapes d’un système d’eau ultra-pure : les systèmes d’appoint, les systèmes primaires et les systèmes de polissage.
3 étapes d’un système d’eau ultrapure
- Systèmes d’appoint : comprennent la filtration, le contrôle granulaire du charbon actif/chlore, le contrôle de l’assouplissement/du tartre, l’ajustement du pH et l’osmose inverse.
- Les systèmes primaires comprennent la réduction du COT UV, la dégazéification par membrane, la déionisation (CEDI ou lits mixtes) et la filtration submicronique. Les systèmes CEDI VNX-EX de Xylem sont conçus spécifiquement pour l’industrie des semi-conducteurs avec une capacité d’élimination de la silice et du bore inégalée.
- Systèmes de polissage : comprennent la réduction du COT UV, la dégazéification par membrane, la déionisation à lit mixte, la filtration submicronique et l’ultrafiltration. La résine échangeuse d’ions à lit mixte NR-45 Meg Nano de Xylem est notre produit de dernière génération qui a été testé selon les protocoles SEMI C-93.
Le maintien des performances optimales des systèmes d’eau ultrapure est essentiel pour maintenir la qualité du produit et le temps de fonctionnement de la production. Les services numériques Sophis∅ de Xylem combinent une surveillance à distance 24 heures sur 24 et 7 jours sur 7 avec des analyses prédictives, une expertise technique et un service proactif pour aider à identifier les problèmes potentiels rapidement, optimiser les performances du système et réduire les risques opérationnels.
Nous pouvons également vous aider à traiter les échanges de résine à lit mixte, la maintenance préventive et les contrats d’exploitation. Nos solutions de modernisation et de mise à niveau améliorent la qualité et la fiabilité de l’eau, réduisent les coûts d’exploitation et augmentent la capacité. Pour les applications au point d’utilisation (POU), nos produits de filtration Vanox® POU et Vanox POU-F produisent de l’eau dépassant les normes ASTM E-1.2.
